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RLS系列射频发生器

  • 采用全数字控制,具有便捷和丰富的操作菜单
  • 进线具有APFC模块,提高输入侧功率因数,降低谐波
  • 具备CEX相位同步功能
  • 3个可编程模拟量输出

RLS系列射频发生器

适用领(ling)域

光伏产业(ye)(ye)、平板显示(shi)器行(xing)业(ye)(ye)、半(ban)导体行(xing)业(ye)(ye)、化工业(ye)(ye)、实验室、科研、制造业(ye)(ye)等。

适用工(gong)艺

等(deng)离(li)(li)子体(ti)(ti)增(zeng)强化(hua)学气相沉积(PECVD)、等(deng)离(li)(li)子体(ti)(ti)刻蚀、等(deng)离(li)(li)子体(ti)(ti)清洗、射频离(li)(li)子源、等(deng)离(li)(li)子体(ti)(ti)扩(kuo)散(san)、等(deng)离(li)(li)子体(ti)(ti)聚合溅(jian)射、反应溅(jian)射等(deng)。

产(chan)品特点:

l  机架(jia)式(shi)安装方式(shi)

l  采用全(quan)数字控制,具有便捷和丰富的操作菜单

l  进线(xian)具有APFC模块,提(ti)高输(shu)入侧功率因数,降低谐波

l  稳定可靠的(de)功放和直(zhi)流控制模(mo)块

l  驻(zhu)波1.5时仍能输出额定(ding)功率

l  具(ju)有多种通(tong)讯(xun)接(jie)(jie)口(kou)(kou)可选,通(tong)过通(tong)讯(xun)接(jie)(jie)口(kou)(kou),可完(wan)全对电源进行操作

l  高(gao)亮LCD显示,操(cao)作直观(guan)

l  具备CEX相位同步功能(neng)

l  3个可编程模拟量输出

l完善保(bao)护功能

      


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